※ 4-point Probe
제작회사
▶ 창민테크 (Korea)
Model
▶ CMT-SR5000
장비요약
▶ Wafer의 면저항 측정
주요사양
|
Sheet Resistance |
1 mΩ/□ ~ 2 MΩ/□ |
System 구성 - 4-point Probe - Air compressure - Control PC |
|
Resistivity |
10 uΩ*cm ~ 200 kΩ*cm |
|
|
Current Source |
10 nA ~ 100 mA |
▶ 자세한 사양 및 공정 범위에 대해서는 담당자에게 문의
특이사항
▶ Loading Size: ≤ 12"
장비 담당자
▶ 김성인 연구원 (Tel: 02-2220-0234, Mail: jangbi25805@nate.com)
▶ 이준명 연구원 (Tel: 02-2220-0247, Mail: kjunom200@naver.com)